薄膜試料作製装置

日本電子 イオンスライサ EM-09100IS

 

機器コード: SP21
利用形態:
 

機器の説明

電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する装置。100µmの試料から簡便な手順でイオン研磨処理による薄膜試料が作製できる。

※特殊用途で使用しています。利用に関しては事前に十分打ち合わせ願います。

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設置場所 総合理工学部
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