機器の説明

ナノメートルレベルで試料を観測すると同時に加工を行うことができる装置です。この機能を使って微細領域の三次元観察を行うことができます。また、反射電子や蛍光X線などを計測することも出来るので、元素や結晶の三次元観察を行うことも出来できます。

設置場所など