機器の説明

元素の定量分析に特化した電子顕微鏡です。元素の検出能力が高く、微細領域の測定や高精度の元素マップを得ることが出来ます。元素分析はBe（ベリリウム）からU（ウラン）まで可能です。

・最高倍率×300,000

・加速電圧1～30kV

・最大照射電流2μA

・WDSを5基装備

・軟X線検出器を用いたスペクトル分析や軽元素分析が可能

設置場所など