機器の説明

光干渉方式を用いた独自のアルゴリズムにより高い垂直分解能を実現しており、簡単・適切な試料評価により解析業務を支援するとともに、これまで培ってきた三次元測定性能で高精度・高分解能な表面形状計測を実現します。

・Z軸測定レンジ：10mm（PZT駆動では150μm）

・ZT測定レンジ：±75mm

・ゴニオステージ：±5°

・レンズ：×2.5, ×10, ×20, ×50, ×110

・サンプル高さ 0～100 mm

・ステージサイズ： 225×225

設置場所など