機器の説明

ナノ～マイクロスケールで室温および高温での物質の変形・破壊挙動をリアルタイムで観察します。ナノインデンテーション、圧縮、引張、疲労、破壊試験が可能です。MEMSベースの試験機構成で、高い分解能、再現性、動的安定性を実現しています。

・完全独立型の変位、荷重読取り機構

・3軸ステージ制御

・ステージ位置制御精度：1 nm以下

・荷重測定レンジ：～200 mN

・ピエゾノイズフロア：0.05 nm（@10Hz）

・最大加振：500 Hz

・最大加熱温度：800℃

設置場所など