走査型電子顕微鏡 日本電子製 JSM-7001FA 
精密イオン研磨機 GATAN社 Model 691 
断面試料作製装置 日本電子SM-09010 
透過電子顕微鏡 日本電子社製JEM-2010 
卓上型走査電子顕微鏡 日本電子製 JCM-6000Plus 
卓上型電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ TM3030Plus 
卓上走査電子顕微鏡 日本電子 NeoScope JCM-5000 
電子線マイクロアナライザー（EPMA） 日本電子製 JXA-8530F 
超高分解能電子顕微鏡 日本電子 JEM-2010 
薄膜試料作製装置 日本電子 イオンスライサ EM-09100IS 
卓上顕微鏡 日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ Miniscope TM-1000S 
電子顕微鏡 卓上低電圧電子顕微鏡 LVEM5 
複合ビーム観察装置 複合ビーム観察装置 [FIB-SEM]（日本電子 JIB-4700F） 
卓上電子顕微鏡 卓上電子顕微鏡（日立ハイテク TM4000Plus） 
電子線マイクロアナライザ[EPMA] 電子線マイクロアナライザ[EPMA]（日本電子 JXA-8530F Plus）
